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      薄膜開關薄膜表面粗糙度檢測

      薄膜開關薄膜表面粗糙度檢測
       1測試原理
          薄膜表面存在微小的凹凸不平的表面,利用儀器的觸針(或探頭)在薄膜表面移動,從而測出薄膜的表面粗糙度Ra.
       2試驗儀器和用品
          a)能滿足薄膜試樣的平均粗糙度側(cè)試范圍及精度要求的表面粗糙度測試儀器均可使用,儀器誤差不大于士10%.
          b)丙酮少許及端部包有脫脂棉花的棉簽.
       3試樣制備
          從樣品上縱、橫向各取三塊試樣,其尺寸以能完全覆蓋與儀器配套的測試小平面為準.試樣表面必須潔凈,無損傷、褶皺。
       4試驗步驟
          用棉簽蘸上丙酮清洗儀器的測試平面.將試樣放在儀器的測試平面上,試樣要完全貼緊平面,無氣泡存在。試樣的被測試面朝向測試指針,讀出3塊試樣縱、橫向各六個Ra的數(shù)值.
       5結(jié)果的計算與表示
          薄膜的表面粗糙度以三個試樣的六個Ra的算術(shù)平均值表示,單位為5m.